一种芯片生产线的镍废水处理方法

申请（专利权）人：四川上特科技有限公司

摘要

本发明公开了一种芯片生产线的镍废水处理方法，属于芯片生产废水处理技术领域。所述废水处理方法包括废水收集、废水蒸发、废气处理和固体废渣处理；所述废水蒸发是在蒸发室内通入高温气体进行加热蒸发，蒸发时间为12～16h，蒸发温度为180～220℃。本发明通过物理蒸发方法将废水进行分离后，分别处理，具有方法简单、处理效果高、不使用化学试剂，对环境友好的优点。

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一种芯片生产线的镍废水处理方法