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一种防止受热变形的硅片倒角机申请（专利权）人：四川晶美硅业科技有限公司 摘要 本实用新型公开了一种防止受热变形的硅片倒角机，属于硅片加工技术领域，包括机架和箱体，箱体内设置有呈片装置、冷却液箱、PLC控制箱和转动机构，冷却液箱位于转动机构上方，冷却液箱固定在箱体内壁上，冷却液箱下部设置喷淋管，转动电机箱固定设置在箱体上，转动电机安装在转动电机箱内，转动电机输出端连接转动联轴器，转动联轴器另一端连接砂轮，PLC控制箱包括显示屏、按钮和PLC控制器，显示屏和按钮均与PLC控制器相连，PLC控制器还与纵向伺服电机、横向伺服电机、呈片电机和转动电机相连。本实用新型具有加工尺寸广、防止硅片受热变形和自动化程度更高等优点。 |