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一种旋转式多功能硅片清洗机申请（专利权）人:四川晶美硅业科技有限公司 摘要 本实用新型公开了一种旋转式多功能硅片清洗机，包括机身，所述机身上设置有清洗室，清洗室内设置有与旋转架，所述旋转架上设置有硅片固定架，所述机身上还设置有进水管、出水管、进气管和排气管，本实用新型通过进水管将清洗液注入到清洗室内，再通过电机带动旋转架高速旋转，从而使清洗液在硅片之间高速流动，达到快速清洗硅片的目的，清洗完成后再对硅片进行离心脱水，其在一台设备上实现了两道加工工序，不但提高了加工效率，同时避免了因硅片转运造成的自然风干，保证了产品的质量。 |