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一种硅片清洗机用干燥装置申请（专利权）人：四川晶美硅业科技有限公司 摘要 本实用新型公开了一种硅片清洗机用干燥装置，属于硅片清洗技术领域，包括干燥箱体，干燥箱体底部左右两侧均设置有排水管，排水管上设置排水阀，排水管和出水总管相连，排水管之间设置有干燥甩盘，干燥甩盘连接干燥电机联轴器，干燥电机联轴器和干燥电机相连，干燥箱体侧壁设置有湿度传感器和温度传感器，干燥箱体底面设有进气管，进气管上设置有加热装置和风机，硅片挂篮放置在干燥甩盘上，干燥箱体上还设置有防撞环，干燥箱体顶部设置有出风口，硅片清洗机用干燥装置还设置有PLC控制器，PLC控制器与排水阀、干燥电机、湿度传感器、温度传感器、加热装置和风机相连。本实用新型具有干燥效率高更好和更节能等优点。 |