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详细内容

碳化硅半导体装置以及使用碳化硅半导体装置的电力变换装置

申请人:

三菱电机株式会社

摘要:

本公开的碳化硅半导体装置具备:第1导电类型半导体基板(10)上的第1导电类型漂移层(20);漂移层的表层的第2导电类型阱区域(30);第1导电类型源极区域(40);形成于阱区域的俯视时的内部的宽度恒定的条纹状且端部折弯的第1导电类型第1离开区域(21);与阱区域邻接地形成的第1导电类型的第2离开区域;栅极绝缘膜(50);栅极电极(60);第1离开区域上的肖特基电极(71);以及源极电极(80)。


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