气体激光装置、气体激光装置的维护方法和电子器件的制造方法

申请人：

极光先进雷射株式会社

摘要：

气体激光装置具有：电压施加电路；腔装置，其在内部具有电极，射出通过从电压施加电路对电极施加电压而产生的光；第1托盘，其包含载置面，腔装置和电压施加电路彼此并列地配置于该载置面；以及收纳部，第1托盘通过在载置面的面内方向上的移动而相对于该收纳部进出自如。

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