退火炉键合丝气体保护退火管

申请（专利权）人：四川威纳尔特种电子材料有限公司

摘要

本实用新型提供一种退火炉键合丝气体保护退火管，包括退火段，其特征在于：退火段一端设置有进口加长段，退火段另一端设置有出口加长段，进口加长段上设置有氮气入口Ⅰ，出口加长段上设置有氮气入口Ⅱ，退火段上设置有氢气入口和排气口，退火段内设置有一隔层，隔层上等距离开设有数个氢气通入孔。本退火管科避免键合丝线材退火过程的二次氧化，并可彻底消除键合丝线材退火过程中表面的微量氧化现象，且可确保使用安全。

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