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一种高效硅片清洗机申请（专利权）人：四川晶美硅业科技有限公司 摘要 本实用新型公开了一种高效硅片清洗机，属于硅片清洗技术领域，包括清洗槽、硅片挂篮、干燥装置、PLC控制箱和挂篮搬运装置，PLC控制箱、清洗槽和干燥装置依次设置，清洗槽包括多个清洗箱，清洗箱内设置药剂箱、液位计、温度传感器、进水管、出水管和超声波发生器，硅片挂篮用于放置硅片并放置于清洗箱内，干燥装置采用离心干燥和热风干燥两种方式，硅片挂篮搬运装置将硅片挂篮从上一个清洗箱搬运至下一个清洗箱，第四个清洗箱内的硅片挂篮搬运至干燥装置中，挂钩脱离硅片挂篮，硅片搬运装置恢复回上一个清洗箱上方，挂钩与新的硅片挂篮结合，硅片搬运装置重复上述运动。本实用新型供具有清洗效果更好、药剂自动添加、硅片自动搬运和干燥等优点。 |